用途事例 ガラス基板表面キズ、シミ検出
課題
キズやシミといった性格の違うものを検出する必要があり、顕微鏡用のリング照明では検出が難しい。
結果
同軸照明を使用することで、キズやシミを分け隔てなく確認することができた。
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