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用途事例　ウエハー透過によるパターン検出

課題

課題

ウエハーの裏面側にカメラ等の光学系を設置することができないため、透過光を利用して、表面側から裏面の確認を行いたい。
ただし、940nmまでの照明では、ウエハーを透過させることが出来ないため、表面の状態しか確認をすることが出来ない。

結果

結果

1000nm以上の波長を用いることで、ウエハーを透過させ、表面側から裏面を観察することが可能となった。
さらに、ハイパワー光源の採用により、従来製品と比較してシャッター速度を3倍以上高速化。これにより、タクトタイムが求められる案件に対しても十分に対応できる性能を実現した。

使用した製品

超高出力 SWIR LED光源

ハイパワー近赤外LED光源シリーズ

超高出力 SWIR LED光源

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